FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子內(nèi)含氟之橡膠，依氟含量 ( 即單體構(gòu)造 ) 而有各種類型。目前廣用的六氟化系氟橡膠最早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高溫性優(yōu)于硅橡膠，有極佳的耐化學(xué)性、耐大部分油及溶劑 ( 酮、酯類除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性則較不良，一般使用溫度范圍為 -20~250 ℃。特殊配方可耐低溫至 -40 ℃。
優(yōu)點(diǎn)：
· 可抗熱至 250 ℃
· 對(duì)于大部份油品及溶劑都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸類、脂族烴、芳香烴及動(dòng)植物油
缺點(diǎn)：
· 不建議使用于酮類，低分子量的酯類及含硝的混合物。 · 汽車、機(jī)車、柴油發(fā)動(dòng)機(jī)及燃料系統(tǒng)。
適用范圍:
· 化工廠的密封件。
全氟橡膠 FFPM
(Perfluoroelastomer) 優(yōu)點(diǎn)：
· ****耐熱特性
· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性
· 低Outgassing 特性
· 優(yōu)異之抗Plasma特性
缺點(diǎn)：
· 耐低溫特性較差
· 原料價(jià)格較高
· 生產(chǎn)難度較高
適用范圍:
· 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
硅氟橡膠
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡膠為硅橡膠經(jīng)氟化處理，其一般性能兼具有氟橡膠及硅橡膠的優(yōu)點(diǎn)；其耐油、耐溶劑、耐燃料油及耐高低溫性均佳，一般使用溫度為 -50~200 ℃。
優(yōu)點(diǎn)：
· 適用于特別用途，如要求能抗含氧的化學(xué)物、含芳香氫的溶劑及含氯的溶劑的侵蝕。
缺點(diǎn)：
· 不建議暴露于煞車油，酮類及胼的溶液中 · 太空機(jī)件上。
