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FPM (Fluoro Carbon Rubber) 分子內含氟之橡膠,依氟含量 ( 即單體構造 ) 而有各種類型。目前廣用的六氟化系氟橡膠最早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高溫性優(yōu)于硅橡膠,有極佳的耐化學性、耐大部分油及溶劑 ( 酮、酯類除外 ) 、耐候性及耐臭氧性;耐寒性則較不良,一般使用溫度范圍為 -20~250 ℃。特殊配方可耐低溫至 -40 ℃。 優(yōu)點: • 可抗熱至 250 ℃ • 對于大部份油品及溶劑都具有抵抗的能力,尤其是所有的酸類、脂族烴、芳香烴及動植物油 缺點: • 不建議使用于酮類,低分子量的酯類及含硝的混合物。 • 汽車、機車、柴油發(fā)動機及燃料系統(tǒng)。 適用范圍: • 化工廠的密封件。 全氟橡膠 FFPM (Perfluoroelastomer) 優(yōu)點: • ****耐熱特性 • 優(yōu)異的抗化學特性 • 低Outgassing 特性 • 優(yōu)異之抗Plasma特性 缺點: • 耐低溫特性較差 • 原料價格較高 • 生產(chǎn)難度較高 適用范圍: • 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運用于半導體產(chǎn)業(yè)及信息相關產(chǎn)業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
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